PIE SCIENTIFIC 研究实验室自动台式等离子清洁器 Tergeo Plasma Cleaner

更新时间：2023-11-14

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用于研究实验室和小批量生产的自动台式等离子清洁器

Laboratory Plasma Cleaner for PDMS bonding, photoresist descum, sample surface cleaning, 2D materials research

典型应用:

引线接合、倒装芯片底部填充、器件封装和解封装
用于碳质污染物去除和氧化物还原的SEM/TEM样品清洁
生物医用涂层前的表面处理及提高医用植入物的亲水性
环氧树脂粘合前的光学、玻璃和基板清洁
光刻胶灰化、去渣和硅晶片清洗
PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室
金属与金属或复合材料改进结合
塑料、聚合物和复合材料改进粘合

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特点:

德国莱茵TV认证并确认
UL、独立选举委员会和加空局
61010-1安全标准。
NRTL
顺从！
清洗模式:直接模式和下游模式。用于两种等离子体清洗模式的双等离子体源。用于高速蚀刻和表面改性的直接模式等离子体清洗:远程/下游模式等离子体清洗，用于温和去除表面污染物，例如SEM/TEM样品清洗。
连续和脉冲等离子体。脉冲比可以从100%(连续)变化到小于1%。Tergeo等离子体系统不仅能以1瓦的间隔调节射频功率，还能产生连续的脉冲等离子体。改变等离子体强度几个数量级以上。
操作方法:自动配方执行；自动作业序列执行；人工操作。
等离子体传感器:双等离子体强度传感器(专的利的申请中)监控原位等离子体源和远程等离子体源。等离子体强度实时显示在LCD触摸屏上。
先进的过程控制功能:压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、双等离子体强度传感器、自动阻抗匹配。
腔室材料:铝法兰和厚壁高纯度石英管增强了耐化学性，减少了耐热玻璃中的碱性杂质(钙、钾、钠)。
石英腔尺寸:内径:110mm外径:120mm深度280毫米
样品架:2mm厚的高纯度石英板
rf天线:外部RF电极和天线设计减少了在具有内部金属电极的等离子体清洁器中发现的金属溅射问题。
射频电源:13.56MHz高频射频电源，自动阻抗匹配，用于原位等离子体源。射频功率有0-75瓦和0-150瓦两种选择，间隔1瓦。13.56MHz射频电源产生的等离子体密度比KHz电源高得多。
气体输入:最多三个质量流量控制气体输入(0~100sccm)。一个用于通风和吹扫的附加端口。英制世伟洛克压缩接头连接器。
用户界面:7英寸电阻触摸屏，用手指触摸，无需手写笔。
食谱和工作支持:总共20个可定制的食谱。作业序列中最多三个清洗步骤。

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