nasgiken简易微量金属污染物回收装置

更新时间：2025-07-26

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NASGiken的简易微量金属污染物回收装置是一种专门用于半导体制造和纳米技术领域中，从硅晶片表面和侧面回收微量金属污染物的设备。以下是关于该装置的详细介绍：

主要应用于半导体制造过程中，对硅晶片进行表面和侧面的微量金属污染物分析。适用于需要高精度和高效率分析的环境，如半导体制造厂、材料研究机构等。

表格

设备名称	SC-3100	SC-8150	SC-9100	SC-9200
操作控制	电脑	手动	自动	自动
支架具的装/卸	自动	手动	自动	自动
采样液的供给	自动	手动	自动	自动
采样液的回收	自动	手动	自动	自动
采样基本模式	圆环形、扇形、固定半径、圆弧	-	-	-
采样追加模式	端面、弧形、长方形	-	-	-
晶圆排片	对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项	-	-	-
吸取式采样	〇	-	〇	〇
亲水面采样	-	〇	〇	〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)	600×494×600	600×494×700	600×494×790	690×550×790
重量	35Kg	40Kg	50Kg	55Kg
安装环境	无尘通风柜内	-	-	-
所需外部资源	电源(100～240VAC)、纯净水、干洁气源	电源(100～240VAC)、N2、干洁气源	电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源	电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源

NASGiken的简易微量金属污染物回收装置以其高效的污染物收集能力、自动化操作和技术，为半导体制造领域提供了一种创新的解决方案。

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