日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101
这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。

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日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101

这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。

规格
	测量
重复性	膜厚：0.1nm 折射率：0.001 *SiO2膜的一点（膜厚：约100nm）重复测量100次时的标准偏差值。
测量速度	最大测量速度 900 点/分钟以上（宽模式，测量 100 平方毫米面积时） 5,000 点/分钟或以上（高清晰模式，测量 1 平方毫米面积时）
光源	半导体激光器（振荡波长636nm）
测量点	广域模式：0.5 平方毫米高清模式：5.5 微米平方
入射角	70度
尺寸（宽 x 深 x 高）	270×337×最大631mm
兼容透明基材	兼容 ME-210-T 不兼容 ME-210
	住房
舞台尺寸	支持最大 8 英寸晶圆（最大 ⌀300 mm 可选）
尺寸（宽 x 深 x 高）	ME-210-T 650×650×1744mm ME-210 650×650×1740mm
重量	约200公斤
界面	GigE（相机信号）
	其他的
界面	GigE（相机信号）
电源	AC100-240V
软件	ME-视图
配件	台式电脑、显示器、使用说明书、标准样品

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